請填寫下麵的表格:
晶片製造過程中處理的機對機處理,而在機器內部。這樣的例子是晶片盒輸送機運輸,自主移動小車,電梯,晶片處理盒對兩院之間的機器人。處理過程中,這可能發生在薄膜層之間形成100倍,晶片塗料、光刻、刻蝕和清洗步驟。三角的可配置旋轉運動產品,如轉動軸,同步輪,腰帶,滾珠軸承在這裏,更多的是有用的組件。
晶片塗層和光刻步驟晶圓的過程的重要組成部分,需要高精度 工具高度清潔的環境。對這些過程,線性運動和定位組件,包括精密階段,通常是必需的。隨著這些組件,激光自準直望遠鏡是一個校準過程的一部分常用的晶片塗布機和光刻過程。