三角清潔和包裝過程用於半導體製造的組件的應用程序

8分鍾閱讀

三角興奮地宣布其最新流程用於半導體製造的組件應用程序而設計的。我們現在為三角產品提供三個清潔選項用於潔淨室環境。

1 -脫脂

2 -精密清洗

3 -電波蘭&精密清洗

我們不僅能分解每個選項的過程也分享一些測試之前和之後的照片,除氣測試結果,以及如何選擇一個清潔的選擇為你的三角組件。

選項1:脫脂

可能的應用包括:

  • 標準環境裝配機器
  • 電池組裝線

步驟1:脫脂和清洗
該組件是在熱堿性清洗劑浴脫脂和清洗。

第二步:去離子水衝洗
部分然後在超聲去離子水衝洗三次。

步驟3:幹
包裝之前我們幹的部分。

步驟4:防鏽包裝
最後,部分是用防鏽劑單層包裝。

單層包裝的例子

選項2:精密清洗

可能的應用包括:

  • LCD(液晶顯示器)裝配過程
  • 電池組裝線
  • 相機模塊組裝

步驟1:脫脂和清洗
首先,組件是在烴清潔劑清洗反滲透水和中性洗滌劑。反滲透水比通常的過濾水幹淨。

步驟2:高壓水清洗
第二,部分是用high-pressurized反滲透水清洗,然後用去離子水(電阻率10莫姆厘米)。

步驟3:在1000級潔淨室環境中高溫洗滌
第三,部分在高溫電阻率的去離子水衝洗莫姆13厘米。

步驟4:在1000級潔淨室環境中幹燥
包裝之前我們幹的部分。

第五步:脫氣雙包裝類10環境
最後,組件包裝在一個類10工作台。

選項3:電波蘭&精密幹淨

可能的應用包括:

  • 半導體晶圓製造過程
  • LCD麵板的開發過程
  • OLED(有機發光二極管)前端流程

步驟1:脫脂和清洗
首先,組件是在烴清潔劑清洗反滲透水和中性洗滌劑。

步驟2:電拋光
第二,組件是放置在一個電波蘭浴。有不同的電拋光浴指定不同的材料類型。

步驟3:高壓水清洗
第三,部分是用high-pressurized反滲透水清洗,然後用去離子水(電阻率10莫姆厘米)。

步驟4:在1000級潔淨室高溫洗滌環境
第四,部分在高溫電阻率的去離子水衝洗莫姆13厘米。

第五步:在1000級潔淨室環境中幹燥

第五,我們包裝之前幹的部分。

第六步:脫氣雙包裝類10環境
最後,組件包裝在一個類10工作台。

雙重包裝的例子

清潔和包裝效率

核實每個清洗過程的結果,樣本組件進行了各種測試。

粒子和碎片驗證

之前

上麵的照片是十六進製後的樣品照片(材料:SUS304)產品利用漏洞掃描電子顯微鏡下視覺驗證後的部分是清潔的過程。

粒子計數測量

顆粒大小
電拋光&
精密清潔
精密清潔 標準
> / = 0.3 132329年 1552658年 12527127年
> / = 0.5 10586年 172910年 1499727年
> / = 0.7 3529年 45874年 423452年
> / = 1.0 1412年 7857年 54696年
> / = 2.0 476年 723年 4058年
示例:SUS304,數1厘米^ 2,供參考

上麵的圖表顯示了比較粒子計數精度測量中使用的去離子水的清潔和電波蘭&精密清潔清洗選擇與標準產品。

除氣測量

進一步確保組件是準備使用在半導體製造業應用程序設計,一個測試進行排放的氣體螺杆(M3, L = 10毫米、SUS304)使用一個熱解吸氣體光譜法。

測試條件:測量是在真空環境中從室溫到大約400°C

測量壓力圖
樣品的溫度

可以排除測量比較“精密清洗”和“電波蘭和精密清洗”

總之,結果表明,除氣的排放螺杆改進與電拋光清洗選項。因此,使組件最佳清洗潔淨室環境中使用。

如何為您的三角組件選擇清潔嗎

三角很容易選擇清潔的選擇。隻需添加適當的前綴的清洗過程你想下麵列出的零件號碼。記住,沒有起訂量!

過程 例子
標準零件號:
CBAS6-20
脫脂 SL -CBAS6-20
精密清洗 SH -CBAS6-20
電拋光&精密清洗 梅毒性心髒病,CBAS6-20

更多地了解如何與三角合作在你的半導體製造設計,訪問我們的專用頁麵在這裏

關於作者

Carlicia Layosa

在三角Carlicia營銷自動化經理。她擁有機械工程學士學位和碩士學位從芝加哥伊利諾伊大學能源工程。她是一個認證的SOLIDWORKS副,其認證專家,並熱愛教育和培訓。

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